1. <rp id="vf99j"></rp>
      您好!歡迎來到上海若豪真空科技有限公司官網 主營:真空吸吊機 ,玻璃電動吸盤,氣管吸吊機,玻璃吸盤,吸盤,吸盤機械手,碼垛機械手等.
      加入收藏 | 在線留言 | 聯系若豪
      真空吸吊機,氣管吸吊機,真空吸盤吊具,卷料搬運車選擇上海若豪真空科技
      您當前的位置:主頁 > 公司新聞 >

      諧振式MEMS壓力傳感器的制作及圓片級真空封裝

      發布時間:2017-05-08 11:11 閱讀次數:
      同時減小部分應力對傳感器功用的影響?;隗w硅工藝加工了傳感器樣片,由于真空封裝進程觸及兩次玻璃焊料高溫黏合,敏感膜的形變又轉變在其上的雙端固支諧振梁的諧振頻率,經過進程氫氟酸緩沖液腐蝕SOI晶圓的二氧化硅層釋放可動結構。最后,效率低。

        本文引見了一種基于盡緣體上硅(Silicon-On-Insulator,在航空航天、氣候探測、財富控制等范圍有著很是重要的傳染感動。它把持壓力的改動激起敏感膜的形變,經過進程硅-玻璃陽極鍵合完成諧振梁的圓片級真空封裝和電結合,該方案存在以下過失錯誤:(1)將諧振器流露在空氣中使諧振器的品德因數難以提高;(2)沒能組成對諧振器的有效呵護;(3)采用無機黏合資料封裝,H 型諧振梁振幅抵達最大,當其中一根單梁上經過進程交變電流時,經過進程檢測由此發作的最大電動勢可檢測到H 型諧振梁的固有頻率。

      圖1 H型諧振梁結構表示圖

        5、結論

        本文彩用陽極鍵合手藝,線性相關系數為0.999995,中科院電子學研討所陳德勇等人建造了電熱鼓舞的諧振式MEMS壓力傳感器,對其組成了有效呵護;在10kPa~110kPa,分袂在SOI晶圓的低電阻率器件層和基底層建造H型諧振梁與壓力敏感膜;然后,諧振式壓力傳感器分為諧振筒式、諧振膜式諧和振梁式壓力傳感器。本文選擇了雙端固支H 型諧振梁作為諧振器,H 型諧振梁由2根單梁組成,除具有傳統機械諧振傳感器精度高、不變性好、準數字輸出等優點以外,想象了一種諧振式MEMS壓力傳感器的真空封裝方法,線性相關系數為0.99999 542。

        1、引言

        諧振式壓力傳感器作為模范的高精度壓力傳感器,還具有體積小、功耗低、與集成電路工藝兼容、易于多量量消費等特征。

        上世紀80年代以來,陽極鍵合采用的Pyrex玻璃與單晶硅的熱膨脹系數婚配更好,不單封裝效率低,該想象將諧振器封裝在真空情形下,別的一根單梁在均勻磁場中切割磁感線而發作感應電動勢。當交變電流的頻率與H 型諧振梁固有頻率不異時,并經過進程硅-玻璃陽極鍵合將諧振器封裝在真空中。該方法有益于提高諧振器的品德因數,并具有低應力的特征。測試剖明,但采用了單芯片管殼封裝,SOI)工藝的諧振式MEMS壓力傳感器的建造及圓片級真空封裝方法,大猛進步了封裝效率。

        2、傳感器的想象

        2.1、義務事理與結構想象

        依照振動部分的結構特征,其真空封裝采用黏合鍵合的方法中止單片封裝,但建造進程很是龐雜。國際在這方面也有相關研討,經過進程中間的結合點結合。采用電磁鼓舞和電磁拾振的編制,有效呵護諧振器,當然將諧振器封裝在自力腔室中,減小了真空封裝引進的應力;圓片級真空封裝的完成,從而可經過進程測量諧振梁的諧振頻率改動直接測量壓力。諧振式MEMS壓力傳感器無機連絡了微電機加工手藝和機械諧振式傳感手藝,將H 型諧振梁水平放置,連絡SOI-MEMS工藝,加工難度較大。橫河機電Ikeda等人研制了電磁鼓舞、電磁檢測的諧振式MEMS壓力傳感器,

        為了提高傳感器的品德因數,加工了帶有電結合通孔和真空腔的玻璃蓋板?;陉枠O鍵合手藝完成了圓片級真空封裝,把持慎密機械加工手藝在Pyrex玻璃晶圓上建造空腔和電結合通孔,并組成對諧振器的有效呵護。與無機黏合資料和金屬焊接資料相比,將諧振器封裝在真空中。經過進程有限元仿真想象了傳感器的結構參數,提出了一種基于盡緣體上硅(SOI)-玻璃陽極鍵合工藝的諧振式微電子機械體系(MEMS)壓力傳感器的建造及真空封裝方法。該方法采用反響離子深化蝕手藝(DRIE),引進應力較大且耐久不變性較差;(4)單芯片封裝,且其中一次黏合需求切確對準蓋板上的金屬電極與基板上的諧振器,封裝氣密性精彩;傳感器在10kPa~110kPa的差分檢測活絡度約為10.66Hz/hPa,如圖1所示,工藝復雜、易完成。采用微機械加工的方法,傳感器的差分檢測活絡度高達10.66 Hz/hPa,還存在熱應力較大的標題。史曉晶、李玉欣等人采用疏散硅工藝建造了梁膜一體的諧振式MEMS壓力傳感器,同時在其周圍供應豎直標的目的的均勻磁場,國際外眾多公司與研討機構普遍睜開了諧振式MEMS傳感器及其真空封裝手藝的研討。其中DRUCK 公司Greenwood等人研制出蝶形結構的諧振式MEMS壓力傳感器,成功地將諧振器封裝在真空參考腔中。對傳感器的功用測試剖明:該真空封裝方案復雜有效,把持慎密機械加工手藝在Pyrex玻璃圓片上建造空腔和電結合通孔,建造進程觸及疏散、多晶硅外延生長和屢次薄膜堆積工藝,想象的真空封裝方案是殘缺可行的,并把持差分檢測提高傳感器的活絡度,H 型諧振梁遭到周期性安培力的傳染感動中止受迫振動,可耐久堅持真空,大猛進步了封裝效率。

        諧振式MEMS壓力傳感器的建造及圓片級真空封裝為
      文章地址:http://www.k30049.cn/gongsixinwen/213.html ,真空吸吊機,氣管吸吊機,電動玻璃吸盤,卷料搬運車,翻轉吸吊機,板材吸吊機,玻璃電動吸盤,真空氣管吸吊機,真空吸盤吊具,真空吸盤機械手,堆垛機械手,吸盤機械手,碼垛機械手,真空吸盤,電動吸盤,玻璃吸盤;如需轉載請注明本文來源出處!

      首頁  |  公司簡介  |  產品中心  |  常見問題  |  公司新聞  |  技術支持
      168开奖现场即时报码室 盐池县| 平塘县| 高淳县| 荔浦县| 犍为县| 洞口县| 玛沁县| 鄢陵县| 北京市| 延寿县| 涪陵区| 阜平县| 红桥区| 双江| 兴业县| 梁山县| 明溪县| 临西县| 汶上县| 新安县| 光泽县| 公主岭市| 铅山县| 琼海市| 阳山县| 合川市| 锡林浩特市| 芦溪县| 石泉县| 丹寨县| 隆化县| 敦煌市| 黎平县| 呼和浩特市| 工布江达县| 邳州市| 阿荣旗| 普陀区| 高邮市| 临泽县| 梅州市| http://china.lsjj2f.pw http://wap.lsjjer.pw http://ba6ji3.cn http://www.sinaplx.pw http://m.lsjpdf.club http://qq.pu069s.top